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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard


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ISSN
2196-7113
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Volume 85, Issue 11

Issues

Impurity detection in polymer parts for the semiconductor manufacturing industry

Detektion von Verunreinigungen in Polymerbauteilen für die Halbleiter-Produktionsindustrie

T. Moldaschl / T. Arnold / M. Zauner / S. Meislitzer / D. Obersteiner / M. De Biasio / J. Steinbrener / L. Neumaier / Albert Molzbichler / Heinz Cramer / B. Ottersböck / G. Oreski / Y. Voronko / M. Kraft / Christina Hirschl
Published Online: 2018-09-08 | DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2018-0056

Abstract

The very strict purity requirements of polymer parts that are used in the semiconductor manufacturing industry lead to an excessively low yield rate. To decrease the costs in the production chain, detailed knowledge about possible impurities during each processing step is essential. This work provides an overview of non-destructive testing techniques that are capable of either detecting or even identifying these impurities. The most promising techniques were then combined in a semi-automatized laboratory demonstrator that can be used as an in-line diagnostics tool to prevent processing of faulty parts. Results from these measurements are presented and discussed.

Zusammenfassung

Die strengen Reinheitsvorgaben für Polymerteile, die in der Halbleiter Produktionsindustrie verwendet werden, führen zu sehr niedrigen Produktionsausbeuten. Um die Kosten in der Produktionskette zu verringern, ist es daher wichtig, mögliche Verunreinigungen des Rohmaterials bei jedem Fertigungsschritt zu kennen. Diese Arbeit bietet einen Überblick über zerstörungsfreie Prüfverfahren, die in der Lage sind Verunreinigungen zu detektieren bzw. zu identifizieren. Die aussichtsreichsten Verfahren wurden in einem semi-automatischen Labordemonstrator vereinigt, der auch als in-line geeignetes Testsystem verwendet werden kann. Ergebnisse dieses System werden präsentiert und diskutiert.

Keywords: Non-destructive testing; high quality polymer parts; tomography

Schlagwörter: Nicht-zerstörende Prüfung; Hochreine Polymer Bauteile; Tomographie

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About the article

T. Moldaschl

thomas.moldaschl@ctr.at

T. Arnold

thomas.arnold@ctr.at

M. Zauner

markus.zauner@ctr.at

S. Meislitzer

st.meislitzer@meislitzer.at

D. Obersteiner

david.obersteiner@ctr.at

M. De Biasio

martin.debiasio@ctr.at

J. Steinbrener

jan.steinbrener@ctr.at

L. Neumaier

lukas.neumaier@ctr.at

Albert Molzbichler

albert.molzbichler@lamresearch.com

Heinz Cramer

heinz.cramer@lamresearch.com

B. Ottersböck

bettina.ottersboeck@pccl.at

G. Oreski

gernot.oreski@pccl.at

Y. Voronko

yuliya.voronko@ofi.at

M. Kraft

martin.kraft@ctr.at

Christina Hirschl

christina.hirschl@ctr.at


Received: 2018-07-25

Accepted: 2018-08-24

Published Online: 2018-09-08

Published in Print: 2018-11-27


Funding Source: Österreichische Forschungsförderungsgesellschaft

Award identifier / Grant number: 853483

This work was conducted in the project OPtima (FFG project number: 853483) as part of the FFG program Produktion der Zukunft. Funding by the Federal Ministries of Transport, Innovation and Technology (BMVIT) and of Economics and Labour (BMWA), managed on their behalf by the Austrian Research Promotion Agency (FFG), is gratefully acknowledged.


Citation Information: tm - Technisches Messen, Volume 85, Issue 11, Pages 700–712, ISSN (Online) 2196-7113, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2018-0056.

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