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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
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Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard


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ISSN
0171-8096
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Volume 86, Issue 6

Issues

Messen von asphärischen Linsenformen mittels räumlicher Kohärenz

Measurement of aspherical lens forms using spatial coherence

André F. Müller / Claas Falldorf
  • Corresponding author
  • 501274 BIAS – Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH, Klagenfurter Str. 5, 28359 Bremen, Germany
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/ Gerd Ehret / Ralf B. Bergmann
Published Online: 2019-05-31 | DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2019-0025

Zusammenfassung

Wir zeigen den Vergleich zweier interferometrischer Verfahren zur Formprüfung anhand einer Messung an einer Zylinderlinse. Das erste Verfahren, die Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), basiert auf der Messung der Kohärenzfunktion mittels eines Scher-Interferometers. Es erlaubt interferometrische Messungen unter gleichzeitiger Verwendung mehrerer unabhängiger und teilkohärenter Lichtquellen, und ermöglicht so eine flexible, an den Prüfling anpassbare Ausleuchtung. Als Vergleichsverfahren kommt die Computational Shear Interferometry (CoSI) zur Messung von Wellenfronten zum Einsatz. Da beide Messverfahren auf einem Scher-Interferometer basieren, ist ein direkter Vergleich unter identischen Umgebungsbedingungen möglich.

Abstract

We present a comparison of two interferometric methods to perform a form inspection of a cylinder lens with a single measurement. The first method, Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), is based on the measurement of the coherence function by means of a shearing interferometer. It allows interferometric measurements by simultaneously using several independent, partly coherent light sources, and enables thus a flexible lighting that can be adapted to the specimen. The method is compared with Computational Shear Interferometry (CoSI), which allows to measure wavefronts. Since both measurement methods rely on a shearing interferometer, a direct comparison under identical environmental conditions is possible.

Schlagwörter: Asphären; Linsenprüfung; Kohärenzfunktion; Interferometrie

Keywords: Aspheres; lens inspection; coherence function; interferometry

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About the article

André F. Müller

André F. Müller hat 2019 seinen Masterabschluss in Physik an der Universität Bremen gemacht. Seine Forschungsschwerpunkte sind kohärente Optik und optische Messtechnik. In seiner Masterarbeit hat er sich mit Methoden zur Analyse teilkohärenter Wellenfelder auf Basis der Multiple Aperture Shear Interferometry beschäftigt.

Claas Falldorf

Dr. Claas Falldorf hat an der Uni Bremen Physik studiert und wurde dort im Fachbereich Physik und Elektrotechnik 2009 promoviert. Er leitet seitdem die Gruppe „Kohärente Optik“ am Bremer Institut für angewandte Strahltechnik (BIAS). Seine Forschungsschwerpunkte sind Optische Messtechnik, Kohärenztheorie und Lichtformung in Verbindung mit Methoden der Signalverarbeitung und Optimierungstheorie.

Gerd Ehret

Dr. Gerd Ehret leitet die Arbeitsgruppe „Ebenheitsmetrologie“ an der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB). Seine Forschungsaktivitäten umfassen die Gebiete Ebenheitsmetrologie, Formmetrologie, Wellenfrontmetrologie, Lichtmikroskopie, Scher-Techniken und rigorose Modellierung optischer Systeme.

Ralf B. Bergmann

Prof. Dr. Ralf B. Bergmann studierte in Heidelberg und Freiburg Physik, promovierte mit einer Arbeit am Max-Plank-Institut für Festkörperforschung (MPI-FKF) an der Uni Stuttgart, arbeitete als Postdoc an der Univ. of New South Wales und habilitierte sich an der Uni Freiburg. Nach weiteren Forschungen am MPI-FKF und der Uni Stuttgart leitete er eine Abteilung in der zentralen Forschung und Vorausentwicklung der Robert Bosch GmbH und später im Geschäftsbereich Automobilelektronik. Seit 2008 ist er Professor an der Uni Bremen und Institutsleiter am Bremer Institut für angewandte Strahltechnik (BIAS) mit dem Gebiet „Optische Messtechnik und optoelektronische Systeme“.


Received: 2019-02-28

Accepted: 2019-05-05

Published Online: 2019-05-31

Published in Print: 2019-05-26


Funding Source: Deutsche Forschungsgemeinschaft

Award identifier / Grant number: 258565427

Die Autoren danken der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) für die Förderung dieser Arbeiten im Rahmen des Vorhabens OPAL II (Ref.-Nr. 258565427).


Citation Information: tm - Technisches Messen, Volume 86, Issue 6, Pages 325–334, ISSN (Online) 2196-7113, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2019-0025.

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