Jump to ContentJump to Main Navigation
Show Summary Details
More options …

tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard


IMPACT FACTOR 2018: 0.594

CiteScore 2018: 0.54

SCImago Journal Rank (SJR) 2018: 0.261
Source Normalized Impact per Paper (SNIP) 2018: 0.563

Online
ISSN
2196-7113
See all formats and pricing
More options …
Volume 86, Issue s1

Issues

Evaluation und Korrektur thermischer Driften eines hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten konfokalen Punktsensors / Evaluation and correction of thermal drifts using a high-speed focal-distance-modulated fibre-coupled confocal sensor

Andreas C. Gröschl
  • Corresponding author
  • Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Nägelsbachstr. 25, Erlangen, Germany
  • Email
  • Other articles by this author:
  • De Gruyter OnlineGoogle Scholar
/ Janik Schaude
  • Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Nägelsbachstr. 25, Erlangen, Germany
  • Other articles by this author:
  • De Gruyter OnlineGoogle Scholar
/ Tino Hausotte
  • Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Nägelsbachstr. 25, Erlangen, Germany
  • Other articles by this author:
  • De Gruyter OnlineGoogle Scholar
Published Online: 2019-08-27 | DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2019-0060

Zusammenfassung

In diesem Artikel wird die Messpräzision eines hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten Konfokalsensors unter temperaturstabilen Bedingungen bestimmt. Insbesondere in der Mikro- und Nanomesstechnik verursachen thermische Driften signifikante Messabweichungen. Diese lassen sich bei wiederholten Messungen zwar zu einem großen Teil korrigieren, innerhalb einer Messung ist dies bisher jedoch nicht möglich. Das verwendete Nanokoordinatenmesssystem (NMM-1) wurde daher um eine Temperierhaube erweitert, um thermische Driften zu minimieren. Weiterhin wird die Temperatur mittels kalibrierter Pt100-Temperatursensoren während der Messungen erfasst, um die Korrelation des Messergebnisses und der Temperatur quantitativ zu bestimmen. Inwiefern die Korrektur des Messergebnisses anhand der aufgenommenen Temperatur möglich ist, wird in diesem Artikel evaluiert.

Abstract

The article presents the determination of the measurement precision of a high-speed focal-distancemodulated fiber-coupled confocal sensor under thermally stable conditions. Thermal drifts cause significant deviations, particularly in the micro- and nano-measuring range. Although these deviations can be corrected mainly in repeated measurements, this is not possible within one single measurement. The used nano-coordinate measuring system (NMM-1) was therefore extended by a thermostating housing to minimize thermal drifts. Furthermore, the temperature is recorded by means of calibrated Pt100 temperature sensors during the measurements in order to determine the correlation of the measurement result and the temperature. This article emphasizes the possiblity of a correction of the measurement results based on the recorded temperatures.

Schlüsselwörter: Konfokalsensor; Nanokoordinatenmessgerät; Temperaturkompensation

Keywords: Confocal sensor; nano-coordinate measuring system; temperature correction

About the article

Published Online: 2019-08-27

Published in Print: 2019-09-01


Citation Information: tm - Technisches Messen, Volume 86, Issue s1, Pages 117–121, ISSN (Online) 2196-7113, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2019-0060.

Export Citation

© 2019 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München.Get Permission

Comments (0)

Please log in or register to comment.
Log in